플라즈마 클리너 모델과 함께 사용하여

​가스를 혼합, 챔버내의 유량을 정확하게 제어 및 진공도를 디스플레이 가능

- Pyrex, Quartz 두가지 제질

- 플라즈마 내부의 챔버

- 플라즈마 클리너 챔버내의 진공도를  디스플레이 

- 동일하고 균일한 조건으로 클리닝시 필요

- 보다 정확하게 샘플 클리닝

- Pyrex, Quartz 두가지 제질

- 작은샘플 표면처리에 용이하게 사용

- 보다 쉽게 샘플들을 거치하고 클리닝

- 많은 샘플을 한번에 처리