HARRICK PLASMA
해릭플라즈마 플라즈마 클리너 표면처리기
HIGH POWER
EXPANDED
PLASMA CLEANER
PDC-002-HP
High Power Expanded Plasma Cleaner 는
소형 이면서도 경제적인 테이블탑 플라즈마 장비로, 힌지형 도어, 관찰용 창, 정밀 가스 조절 밸브를 갖추고 있어 나노 스케일 표면 세정 및 소형 샘플의 활성화에 적합합니다.
- 제일 큰 사이즈, 탁상형모델
- RF 파워 조절가능 (Low, Medium, and High power settings)
- RF 파워 최고출력 : 45W
- 챔버사이즈 : 6" x 6.5" 인치 사이즈
- 고정 챔버커버에 윈도우 장착
- 팬쿨러 장착
- 본체에서 진공펌프 컨트롤 가능
- 1/8" NPT metering 벨브로 다양한 가스 주입 및 컨트롤이 가능
(PLASMAFLO 악세서리 구입시)
옵션 사항
🔹 PlasmaFlo 가스 믹서를 추가하면 최대 두 가지 공정 가스의 정량적 제어 및 진공 압력 모니터링 가능
🔹 쿼츠 챔버 및 샘플 트레이 옵션 제공
🔹 호환 가능한 진공 펌프 제공
필수 요구 사항
▶ 최소 1.4 m³/hr (23 L/min) 이상의 펌핑 속도와 200 mTorr (0.27 mbar) 이하의 궁극적 총 압력을 갖춘 진공 펌프 필요
▶ 비반응성 가스 (공기, N₂, Ar) 사용 시 표준 진공 펌프(Standard Vacuum Pumps) 사용 가능
▶ 고농도 또는 순수 산소(O₂) 사용 시 산소 전용 펌프(Oxygen Service Pumps) 사용 필요
What is Plasma?
Plasma, the fourth state of matter, is a distinct processing medium for surface treatment and surface modification. This note discusses the nature of plasma and how plasma is formed, its unique advantages, and the types of surface interactions that are possible during plasma treatment.
견적 요청 및 문의
